平面平晶是以光波干涉原理為基礎(chǔ),利用平晶的測(cè)量面與試件的被測(cè)量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來測(cè)量被測(cè)量面的平面度。
平面平晶用于檢定量塊的研合性和平面度以儀器和量具的測(cè)量面、工作面的平面度。亦可用于檢定高精度的平面零件,例如,平面光學(xué)零件、高級(jí)平臺(tái)、平板、導(dǎo)軌、密封件等。平面平晶特別適用于計(jì)量單位、實(shí)驗(yàn)室作為標(biāo)準(zhǔn)平面和樣板。
平面平晶的技術(shù)參數(shù)(備注:特殊規(guī)格可根據(jù)客戶要求定做)
平面直徑d(mm) | 基本參數(shù) | |
1級(jí) | ||
d范圍內(nèi) | 2/3d范圍內(nèi) | |
30 45 60 |
0.03 | ---- |
80 100 150 |
0.05 | 0.03 |
200 250 300 |
0.08 0.1 0.15 |
0.05 0.05 0.09 |